公開了一種蒸汽預熱變頻固體飲料滅菌裝置,其包括有加熱箱,冷卻箱,保溫箱和物料輸送管道,物料輸送管道的與進料裝置連通,并穿過加熱箱,保溫箱和冷卻箱與物料灌裝機連通,蒸汽預熱變頻飲料滅菌裝置還包括有變頻流量泵,設置于保溫箱與冷卻箱之間的物料輸送管道內;物料輸送管道的外管壁設置有導熱肋片;加熱箱包括有加熱單元和預熱單元,加熱單元連通一蒸汽熱源;加熱單元內連通冷凝水輸送通道,冷凝水輸送通道與預熱單元連通.通過在物料輸送管道上設置變頻流量泵,使得本發明可以適用于各種不同性質的物料,降低了成本;進一步通過在物料輸送管道的外管壁上設置導熱肋片提高了熱交換率,進一步降低了成本.